1937年10月生,清华大学教授、博士生导师。精密仪器和微系统技术专家。历任清华大学微米纳米技术研究中心主任、精密仪器系主任、机械工程学院副院长,国家863航天领域专家委员会委员,北京市人民政府科技顾问。从事微米纳米技术、测量与控制技术和生物医疗仪器研究,国际传感器执行器和机械电子两科技杂志编委,是我国微系统技术的开拓者之一。
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